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潔凈等級: 100級@≥0.5um (美聯(lián)邦209E) 菌落數(shù): ≤0.5個(gè)/皿·時(shí)(φ90mm培養(yǎng)平皿) 氣密度/噪音: ≤10-6 m/s (在500Pa壓力下) /≤62dB(A)